激光干涉儀，利用激光作為長(cháng)度基準，對數控設備（加工中心、三座標測量機等）的位置精度（定位精度、重復定位精度等）、幾何精度（俯仰扭擺角度、直線(xiàn)度、垂直度等）進(jìn)行精密測量的精密測量?jì)x器。

　　

　　干涉儀集成干涉鏡與激光器于一體，簡(jiǎn)化了調整步驟，減少了調整時(shí)間，但是我們在使用中往往會(huì )出現檢測偏離值，偏離我們的預估，以至于在高精度檢測時(shí)，對設備產(chǎn)生懷疑。下面，小編就激光干涉儀測量誤差的部分原因進(jìn)行簡(jiǎn)單的介紹，希望能幫助大家！

　　

　　1、阿貝誤差

　　

　　因測量光學(xué)鏡組的安裝高度不在被測設備的運動(dòng)軸上引起的測量誤差稱(chēng)之為阿貝誤差。產(chǎn)生的原因是設備移動(dòng)時(shí)存在俯仰、扭擺差。因此，光學(xué)鏡組與運動(dòng)軸偏置距離越遠，引起的阿貝誤差越大。

　　

　　2、環(huán)境因素

　　

　　環(huán)境補償單元能準確采集空氣溫度、壓力、相對濕度信息，基于Edlen公式計算空氣折射率，以此對激光波長(cháng)進(jìn)行補償。1000mm示值因環(huán)境溫度、壓力、空氣濕度各自變化引起的示值變化量（單位：um）

　　

　　3、余弦誤差

　　

　　激光束路徑與被測軸之間存在的任何未準直都會(huì )造成測得的距離和實(shí)際的運動(dòng)距離之間有差異，此誤差被稱(chēng)為余弦誤差。當激光干涉儀與運動(dòng)軸未準直時(shí)，余弦誤差會(huì )使得測量的距離比實(shí)際距離要短。隨著(zhù)未準直角度的增加，誤差也跟著(zhù)顯著(zhù)增加。

　　

　　4、死程誤差

　　

　　死程誤差是在線(xiàn)性測量過(guò)程中與環(huán)境因素改變有關(guān)的誤差，在正常狀況下，死程誤差并不大，而且只會(huì )發(fā)生在定標后以及測量過(guò)程中的環(huán)境改變。