東京精密E-TS-1070B 精度演算誤差方式介紹

１．在G1?G2接觸子間放入微動(dòng)臺。

２．先移動(dòng)G1接觸子、控制部指示値為行程量的一半時(shí)，（－210～－220μｍ）固定接觸子。

３．然后移動(dòng)G2接觸子、控制部指示値為０μｍ時(shí)固定接觸子。

４．微動(dòng)臺朝返回方向返回100μｍ(－100μｍ)、確認控制部 指示値。

５．微動(dòng)臺至進(jìn)給原位置（零位置）、確認控制部 指示値為0μm〔注１〕。

６．微動(dòng)臺在進(jìn)給方向進(jìn)給100μm(＋100μm)、確認控制部指示値。

 ７．微動(dòng)臺回到原位置（零位置）、確認控制部指示値為0μm〔注１〕。

８．0μm→－100μm的指示値與0μm→＋100μm的指示値不超過(guò)1.5μm。

 ９．0μm→－100μm的指示値與0μm→＋100μm的指示値的差超過(guò)1.5μm時(shí)需再調整、重復[１．]～[８．]的作業(yè)。不超過(guò)時(shí)進(jìn)行接下來(lái)的檢查。

〔注１〕 微動(dòng)臺在原位置（零位置）時(shí)、控制部指示値不為0μm時(shí)、需調整接觸子重復〔４．〕～〔６．〕的作業(yè)。

　※ 為減少演算誤差需進(jìn)行絞合線(xiàn)單體感度測量（別紙）。