激光干涉儀以激光波長(cháng)為已知長(cháng)度利用邁克耳遜干涉系統測量位移的通用長(cháng)度測量，干涉儀有單頻的和雙頻的兩種。激光具有高強度、高度方向性、空間同調性、窄帶寬和高度單色性等優(yōu)點(diǎn)。

　　

　　干涉儀可配合各種折射鏡、反射鏡等來(lái)作線(xiàn)性位置、速度、角度、真平度、真直度、平行度和垂直度等測量工作，并可作為精密工具機或測量?jì)x器的校正工作。

　　

　　激光干涉儀的應用：

　　

　　1、幾何精度檢測可用于檢測直線(xiàn)度、垂直度、俯仰與偏擺、平面度、平行度等。

　　

　　2、位置精度的檢測及其自動(dòng)補償可檢測數控機床定位精度、重復定位精度、微量位移精度等。利用干涉儀不僅能自動(dòng)測量機器的誤差，而且還能通過(guò)RS232接口自動(dòng)對其線(xiàn)性誤差進(jìn)行補償，比通常的補償方法節省了大量時(shí)間，并且避免了手工計算和手動(dòng)數控鍵入而引起的操作者誤差。

　　

　　3、數控轉臺分度精度的檢測及其自動(dòng)補償，利用干涉儀加上RX10轉臺基準還能進(jìn)行回轉軸的自動(dòng)測量。它可對任意角度位置，以任意角度間隔進(jìn)行全自動(dòng)測量，其精度達±1。

　　

　　4、雙軸定位精度的檢測及其自動(dòng)補償干涉儀系統可同步測量大型龍門(mén)移動(dòng)式數控機床，由雙伺服驅動(dòng)某一軸向運動(dòng)的定位精度，而且還能通過(guò)RS232接口，自動(dòng)對兩軸線(xiàn)性誤差分別進(jìn)行補償。

　　

　　5、數控機床動(dòng)態(tài)性能檢測利用RENISHAW動(dòng)態(tài)特性測量與評估軟件，可用激光干涉儀進(jìn)行機床振動(dòng)測試與分析（FFT），滾珠絲杠的動(dòng)態(tài)特性分析，伺服驅動(dòng)系統的響應特性分析，導軌的動(dòng)態(tài)特性（低速爬行）分析等。