激光干涉儀作為現代精密測量?jì)x器的代表，以光波為載體，具有測量精度高、測量速度快、測量范圍大、測量速度分辨率高的特點(diǎn)。廣泛應用于精密制造、測量等行業(yè)，在精密位移、直線(xiàn)度、垂直度等測量領(lǐng)域發(fā)揮著(zhù)重要作用。

　　

　　在干涉儀的實(shí)際使用中，需要確認其在各種測量應用中的真實(shí)精度水平，以確保測量數據的準確性和可靠性。干涉儀的測量讀數與激光波長(cháng)有關(guān)，因此激光頻率的準確性和穩定性是干涉儀測量精度的保證。此外，干涉儀環(huán)境條件補償系統（壓力、溫濕度傳感器）的讀數精度對測量精度有重要影響。

　　

　　綜上所述，影響激光干涉儀測量精度的因素包括：

　　

　　1、激光頻率(波長(cháng))和頻率穩定性；

　　

　　2、測量讀數軟件系統造成的誤差；

　　

　　3、反射鏡、角錐棱角誤差；

　　

　　4、溫濕度、壓力傳感器誤差；

　　

　　當然，具體測量任務(wù)中的測量精度也與測量人員、現場(chǎng)環(huán)境條件等因素有關(guān)。

　　

　　激光干涉儀在購買(mǎi)和投入使用前應驗證其關(guān)鍵性能。隨著(zhù)使用壽命的增加，干涉儀（包括環(huán)境補償系統）的性能可能會(huì )因老化或使用不當而下降，從而影響測量精度。

　　

　　因此，有必要定期校準干涉儀測量系統的關(guān)鍵性能參數，以確保在精確測量應用中獲得準確的數據結果。根據測量驗證程序的要求，需要定期校準干涉儀的激光頻率、測距誤差、測角誤差和環(huán)境補償傳感器。