馬爾Mahr表面粗糙度儀VD140基本配置

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驅動(dòng)器技術(shù)參數：

測量長(cháng)度：up to 140 mm

定位速度：0.02 - 200 mm/s (in X)

測量速度：up to 10 mm/s

導軌直線(xiàn)度：0.35 µm / 60 mm，0.4 µm / 140 mm

驅動(dòng)器旋轉角度：±45°

輪廓測量技術(shù)參數：

測桿長(cháng)度：210 mm-option; 350 mm; 490 mm-option，測桿帶有芯片可被軟件自動(dòng)識別

輪廓分辨率：max. 6 nm (with 210 mm probe arm)

測量精度：±(1.0 + 1.25 l/100) µm; l in mm

最大測量范圍：70 mm (in Z with 350 mm probe arm) max. 100 mm (with 490 mm probe arm-option)

測力：4mN-30mN軟件可調

粗糙度測量技術(shù)參數：

測桿長(cháng)度：45 mm; 90 mm-option; 135 mm-option

粗糙度分辨率：max. 0.2 nm

測量精度：±2%

最大測量范圍：500 µm (±250 µm) for 45 mm probe arm length

1500 µm (±750 µm) for 135 mm probe arm length-option

測力：0.7mN

立柱及微調工作臺技術(shù)參數：

立柱高度：350 mm

立柱定位方式：CNC全自動(dòng)定位，可程序控制定位

立柱定位速度：up to 50mm/s

微調工作臺尺寸：390mm x 430mm

工作臺微調范圍：50mm

微調工作臺承重：90Kg